组合式坩埚
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组合式坩埚
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简介: 本实用新型涉及一种组合式坩埚,包括由炭/炭复合材料制成的坩埚主体和等静压石墨材料制成的底托;所述坩埚主体底部设有开孔,所述底托是与坩埚主体的底部相配合的碗型,其边缘向坩埚主体的边缘光滑过渡,底托的底部设有与所述坩埚主体的开孔相配合的锥形台,所述底托的外侧壁与坩埚主体的内侧壁之间保持0.2-0.5mm的间隙。本实用新型性价比远大于一体的石墨坩埚,使用性能优于一体的炭/炭复合材料坩埚,这样大大降低单晶硅生产成本的同时,使得炭/炭复合材料坩埚得到了广泛的应用,具有广阔的应用前景。
本实用新型涉及一种组合式坩埚,包括由炭/炭复合材料制成的坩埚主体和等静压石墨材料制成的底托;所述坩埚主体底部设有开孔,所述底托是与坩埚主体的底部相配合的碗型,其边缘向坩埚主体的边缘光滑过渡,底托的底部设有与所述坩埚主体的开孔相配合的锥形台,所述底托的外侧壁与坩埚主体的内侧壁之间保持0.2-0.5mm的间隙。本实用新型性价比远大于一体的石墨坩埚,使用性能优于一体的炭/炭复合材料坩埚,这样大大降低单晶硅生产成本的同时,使得炭/炭复合材料坩埚得到了广泛的应用,具有广阔的应用前景。
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标签:复合材料
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