简介： 本发明提供一种二硫化钼/纳米金刚石复合湿度传感器及其制备方法，包括步骤：水热法合成二硫化钼/纳米金刚石复合溶液，将其离心、洗涤以及超声分散得到二硫化钼/纳米金刚石复合材料分散液；再将该复合分散液涂覆到电极基片表面，放置入保护气体中静置进行干燥处理，从而得到附着有二硫化钼/纳米金刚石复合材料薄膜的电极基片；其中电极基片包括依次设置的硅基体、二氧化硅层、二氧化硅层表面形成第一电极和第二电极以及在所述二氧化硅层、第一电极和第二电极上附着的水热合成的二硫化钼/纳米金刚石复合材料薄膜；本发明的湿度传感器具有较高的响应灵敏度和快的响应速度。