简介： 本发明公开了一种复合精细遮罩，其包括复合材料薄片。复合材料薄片包括聚合物层、设置在所述聚合物层的第一表面的第一金属层以及设置在所述聚合物层的第二表面的第二金属层。复合材料薄片具有第一区和第二区，其中第一区环绕第二区。第一金属层在第一区的一部分的厚度大于第一金属层在第二区的另一部分的厚度，第二金属层在第一区的一部分的厚度大于第二金属层在第二区的另一部分的厚度。