含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法
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含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供了两种含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法。本发明是采用化学气相沉积(CVD)方法制备了含有ZrB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Zr(Ta)B4),另一种含有HfB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Hf(Ta)B4),这两种共沉积复合涂层比单一CVD ZrB2涂层或CVD HfB2具有更高的抗氧化和抗烧蚀性能。如具有Zr(Ta)B4复合涂层的C/C复合材料在氧‑乙炔中烧蚀60s后,其线烧蚀率由‑11.8×10‑4mm/s变为6.1×10‑5mm/s,质量烧蚀率由1.08×10‑3g/s变为4.2×10‑5g/s。其具有优异的抗烧蚀性能,可作为石墨、碳基、陶瓷基复合材料的高温保护涂层。
本发明提供了两种含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法。本发明是采用化学气相沉积(CVD)方法制备了含有ZrB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Zr(Ta)B4),另一种含有HfB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Hf(Ta)B4),这两种共沉积复合涂层比单一CVD ZrB2涂层或CVD HfB2具有更高的抗氧化和抗烧蚀性能。如具有Zr(Ta)B4复合涂层的C/C复合材料在氧‑乙炔中烧蚀60s后,其线烧蚀率由‑11.8×10‑4mm/s变为6.1×10‑5mm/s,质量烧蚀率由1.08×10‑3g/s变为4.2×10‑5g/s。其具有优异的抗烧蚀性能,可作为石墨、碳基、陶瓷基复合材料的高温保护涂层。
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标签:复合材料
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