具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚
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具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚
来源:北方有色网
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简介:
本发明属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域,具体涉及一种具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚。所述坩埚包括炭/炭复合材料构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内外表面的碳化硅/硅复合陶瓷层,或所述坩埚包括炭/炭复合材料构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅/硅复合陶瓷层,所述碳化硅/硅复合陶瓷层是由碳化硅和硅彼此镶嵌混合而组成。本发明通过制备工艺与坩埚结构的优化匹配;得到了性能优良、使用寿命长久的产品。本发明制备工艺可控,便于大规模工业化应用。
本发明属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域,具体涉及一种具有
碳化硅
/硅复合陶瓷层的坩埚。所述坩埚包括炭/炭
复合材料
构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内外表面的碳化硅/硅复合陶瓷层,或所述坩埚包括炭/炭复合材料构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅/硅复合陶瓷层,所述碳化硅/硅复合陶瓷层是由碳化硅和硅彼此镶嵌混合而组成。本发明通过制备工艺与坩埚结构的优化匹配;得到了性能优良、使用寿命长久的产品。本发明制备工艺可控,便于大规模工业化应用。
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标签:复合材料
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