简介： 本发明为一种超细晶双相合金材料及其制备方法，主要用于制备Ti₂AlNb基复合材料，设计了一种非晶包裹纳米晶结构的Ti₂AlNb合金，利于Ti₂AlNb基复合材料的成型和基体细晶组织的调控。本发明的步骤如下：通过熔炼+锻造的方法制成Ti₂AlNb靶材；将带C涂层的连续SiC纤维缠绕到样品架上，放入到磁控溅射设备的样品室；抽真空使背底真空优于8×10^‑4Pa，通入Ar气，对样品架施加500～2000V高偏压，对纤维表面进行离子清洗；启动溅射电源，通过控制沉积压强、基底偏压及沉积温度，有效调控入射粒子的能量和反溅射程度使Ti₂AlNb在沉积过程中发生原子尺度下Nb元素的分离而形成非晶包裹纳米晶结构的Ti₂AlNb超细晶双相合金；关闭溅射，在Ar气保护环境下，冷却至50℃以下。本发明中的Ti₂AlNb超细晶双相合金先驱丝，可以解决Ti₂AlNb基复合材料成型困难和基体组织晶粒难以细化的技术问题，制备出界面反应小、融合好和细晶组织的SiC纤维增强Ti₂AlNb复合材料。