简介： 一种组件,其包含等离子体处理室的部件、热源以及夹于所述部件和所述热源之间的聚合物复合材料,所述聚合物复合材料在高热导率相和低热导率相之间出现相变。所述温度诱导相变聚合物可以用于在多步等离子体蚀刻工艺中保持所述部件温度处于高或低温。