本发明公开了一种陶瓷材料微观组织全视场高通量跨尺度原位表征方法,包括:对陶瓷及陶瓷基
复合材料取样和切割;对陶瓷及
陶瓷基复合材料的机械研磨和表面抛光;对陶瓷样品测试区域定位标记;对陶瓷及陶瓷基复合材料样品待测区域表面三维形貌高度信息高通量高精度采集;对表面三维形貌高度信息采集结果后处理及分析,获得一种陶瓷及陶瓷基复合材料微观组织全视场高通量跨尺度原位表征方法。本发明在陶瓷材料表面金相磨抛的基础上,结合白光干涉三维轮廓仪测试表面三维形貌高度信息以及采集信息结果滤波分析等后处理,实现基于陶瓷及陶瓷基复合材料组成相三维表面信息差异解析的微观组织全视场高通量跨尺度原位表征。