基板载放台
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基板载放台
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简介: 一种基板载放台,具备:一个面为基板载放面的板状的陶瓷基体;在与基板载放面相反的面上借由接合材料与陶瓷基体接合的在多孔质陶瓷的气孔内充填有金属的气孔率大于0%不足5%的板状的复合材料基体;以及在复合材料基体的与接合陶瓷基体的面相反的面上借由接合材料与复合材料基体接合的金属板。
一种基板载放台,具备:一个面为基板载放面的板状的陶瓷基体;在与基板载放面相反的面上借由接合材料与陶瓷基体接合的在多孔质陶瓷的气孔内充填有金属的气孔率大于0%不足5%的板状的复合材料基体;以及在复合材料基体的与接合陶瓷基体的面相反的面上借由接合材料与复合材料基体接合的金属板。
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标签:复合材料
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