简介： 本实用新型提供了一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳‑碳复合材料导轨、碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母；镀膜载板的设置有内六角沉头式通孔的边部、石墨导轨、碳‑碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母连接在一起；碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母在酸洗过程中不会被氢氟酸腐蚀；碳‑碳复合材料螺杆的机加工难度、机加工工作量以及切削量均比较小；内六角沉头式通孔与碳‑碳复合材料六角螺母均为六角结构，可以卡着固定碳‑碳复合材料六角螺母，可以定位与卡位，在上下方向上对齐摆正，提高了安装精度。