简介:
本实用新型涉及金属镀膜技术领域,尤其是一种用于金属镀膜的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线,具有入口、真空复合装置和出口,真空复合装置包括真空室,真空室内依次设置进口真空锁、加热系统、反溅射去污系统、离子束活化系统、真空蒸发离子复合系统和出口真空锁,真空复合装置由电控系统控制,加热系统和真空蒸发离子复合系统内设置有排气系统。本实用新型的优点是降低了能耗,提高了复合的效率。
本实用新型涉及金属镀膜技术领域,尤其是一种用于金属镀膜的连续真空等离子蒸发金属
复合材料生产线,具有入口、真空复合装置和出口,真空复合装置包括真空室,真空室内依次设置进口真空锁、加热系统、反溅射去污系统、离子束活化系统、真空蒸发离子复合系统和出口真空锁,真空复合装置由电控系统控制,加热系统和真空蒸发离子复合系统内设置有排气系统。本实用新型的优点是降低了能耗,提高了复合的效率。