简介： 本发明公开了一种高分子材料-金属氧化物薄膜复合材料及其制备方法。以高纯过渡族金属为靶材，高分子材料为基材，采用磁控溅射技术，首先在高分子基材上制备由纯金属至低价金属氧化物，再渐变至高价氧化物的过渡层，再制备金属氧化物薄膜层。过渡层中与基材结合面的纯金属柔性好，延展行强，与柔性高分子基材的物理性能相匹配，降低了由于材料的不匹配引起的薄膜内应力，并且可以阻止膜内裂纹沿结合层间扩展，使柔性高分子材料与金属氧化物薄膜的结合牢度显著提高。