简介： 本发明涉及一种包覆硅的碳颗粒复合材料、制备方法和设备及用途，本发明使用低温等离子体反应分解制备纳米硅，能够在常温条件下化学气相沉积制备产品，得到包覆非晶硅层的碳颗粒；进一步地通过反应气流量、反应功率的调节，能够有效的调控纳米硅颗粒尺寸，可在5～1000nm范围内自由控制；通过将化学气相沉积室设计成旋转方式，能够有效的提高纳米硅与基底复合的均匀性；进一步地，通过对化学气相沉积速率、旋转速率等条件的控制能够得到厚度可控的硅层。