电热法快速CVD制备C/C复合材料的沉积设备
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电热法快速CVD制备C/C复合材料的沉积设备
来源:北方有色网
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简介: 本实用新型提供一种电热法快速CVD制备C/C复合材料的沉积设备,其包括用石英玻璃管制成的反应室,设置在反应室两端内侧的用于固定的法兰,设置在同一端两法兰之间用于密封的密封圈,设置在反应室两端用于向反应室内提供反应气体的入口及出口,该入口和出口同时用于接入加热电极;设置在反应室下方用于通电加热的直流稳压稳流电源。本实用新型采用石英玻璃做反应室,可以保证在沉积过程中,随时观察沉积情况,随时终止沉积过程,加热速度快,大大缩短了沉积时间,提高了沉积效率,也可随时调节沉积温度,无需水冷系统,简化了设备,降低了成本。
本实用新型提供一种电热法快速CVD制备C/C复合材料的沉积设备,其包括用石英玻璃管制成的反应室,设置在反应室两端内侧的用于固定的法兰,设置在同一端两法兰之间用于密封的密封圈,设置在反应室两端用于向反应室内提供反应气体的入口及出口,该入口和出口同时用于接入加热电极;设置在反应室下方用于通电加热的直流稳压稳流电源。本实用新型采用石英玻璃做反应室,可以保证在沉积过程中,随时观察沉积情况,随时终止沉积过程,加热速度快,大大缩短了沉积时间,提高了沉积效率,也可随时调节沉积温度,无需水冷系统,简化了设备,降低了成本。
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标签:复合材料
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