简介： 本发明涉及一种SnSe/SnO2/Gr复合材料的制备方法、MEMS氨气传感器及其应用，属于MEMS气体传感器技术领域。本发明包括以下步骤：将SnCl2·2H2O、NaOH、Se、NaBH4，搅拌加热，干燥得到SnSe纳米粒子；溶解，高温保存后，暴露在空气中，冷却到室温，离心洗涤干燥，得到SnSe/SnO2纳米粒子；将浓硫酸置于冰水浴中，加入石墨粉和硝酸钠，加入高锰酸钾，去除冰水浴，加入双氧水，后处理得到GO粉末；制成悬浮液，加入到SnSe/SnO2溶液中，加入十六烷基三甲基溴化铵，离心干燥，高温加热，冷却。本发明制得的MEMS氨气传感器灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高。