简介： 本发明提供了一种复合材料的微机电装置及其制作方法。该微机电装置包括一振动单元、一第一材料以及一第二材料。振动单元用以沿一第一轴向来回振动，其中振动单元包括一刚性元件。刚性元件包括一第一表面、一第二表面以及连接第一表面与第二表面的一第三表面，其中第一表面面向第一轴向的一第一方向，第二表面面向第一轴向相反于第一方向的一第二方向。第一材料设置于第一表面与第二表面上。第二材料为导电材料且设置于第一材料上并延伸至刚性元件，使第二材料电性连接到刚性元件。