简介： 本发明实施例公开了一种氧化亚硅复合材料及其制备方法、锂离子电池，其制备方法包括以下步骤：向气相沉积炉中通入保护性气体，同时对氧化亚硅原材料进行预加热处理，以使部分氧化亚硅原材料发生歧化反应；持续通入保护性气体并通入碳源气体，对预加热处理后的氧化亚硅原材料进行化学气相沉积，以在氧化亚硅的表面形成碳纳米管。本发明实施例能够通过原位自生生成的催化剂在氧化亚硅表面催化生长碳纳米管，提高了氧化亚硅的导电性和首次库伦效率，且制备过程简单。