单晶炉承托坩埚用碳/碳复合材料碳布垫
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单晶炉承托坩埚用碳/碳复合材料碳布垫
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简介: 本实用新型公开了一种提高承托坩埚使用寿命的单晶炉承托坩埚用碳/碳复合材料碳布垫,其特征是它由碳纤维布制成,为与承托坩埚(2)内壁吻合的圆形碗体形状,碗体上部为与承托坩埚(2)直筒部分配合的圆筒(3),碗体下部为与承托坩埚(2)的R部及底部配合的圆弧体(4),本实用新型结构简单,使用方便,成本低廉,将碳布垫放于承托坩埚内壁倒角部及其附近区域,隔在石英坩埚与承托坩埚之间,大幅度延长了承托坩埚的使用寿命,减少生产成本,同时,方便去除石英坩埚残体。
本实用新型公开了一种提高承托坩埚使用寿命的单晶炉承托坩埚用碳/碳复合材料碳布垫,其特征是它由碳纤维布制成,为与承托坩埚(2)内壁吻合的圆形碗体形状,碗体上部为与承托坩埚(2)直筒部分配合的圆筒(3),碗体下部为与承托坩埚(2)的R部及底部配合的圆弧体(4),本实用新型结构简单,使用方便,成本低廉,将碳布垫放于承托坩埚内壁倒角部及其附近区域,隔在石英坩埚与承托坩埚之间,大幅度延长了承托坩埚的使用寿命,减少生产成本,同时,方便去除石英坩埚残体。
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标签:复合材料
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