纳米碳管复合材料及其制作方法
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纳米碳管复合材料及其制作方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明涉及一种纳米碳管复合材料及其制作方法,包括:提供一基板;形成一金属催化剂层于基板上;于一反应室中通入反应气体,并施加负偏压,以于基板上成长多个纳米碳管;及于反应室中施加正偏压,以于上述纳米碳管上成长纳米碳薄片。
本发明涉及一种纳米碳管
复合材料
及其制作方法,包括:提供一基板;形成一金属催化剂层于基板上;于一反应室中通入反应气体,并施加负偏压,以于基板上成长多个纳米碳管;及于反应室中施加正偏压,以于上述纳米碳管上成长纳米碳薄片。
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标签:复合材料
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