简介： 本发明公开了一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，包括如下步骤：(1)衬底预处理；(2)靶材预处理；(3)在射频电源的作用下，设备腔体中的氩气和氮气发生辉光放电，形成等离子体，Ar+离子轰击铝靶材，溅射出铝原子，铝原子与等离子体中的氮原子发生反应，在衬底上形成AlN缓冲层；(4)N2、Ar气氛下，采用磁控溅射沉积，在衬底上形成AlN薄膜；其中，磁控溅射沉积AlN薄膜时N2与Ar体积之比为1:1‑1.5。本发明提供了一种蓝宝石基氮化铝薄膜复合新材料的制备方法，极大地改善了氮化铝薄膜的质量，同时也拓宽了蓝宝石基氮化铝的应用条件，特别是在UVCLED方面的应用。