简介： 本发明揭示了一种用于制备复合材料的可组装靶材,其特征在于具有第一材料基底,基底上方具有多个凹槽,凹槽中填充有至少一种非第一材料。制造上述靶材的步骤如下:在第一材料基底靶材上形成槽结构,填充至少一种非第一材料的粉末或者熔液,经烧结、冷却和平坦化得到。在靶材部分消耗后,还可通过对靶材的消耗部分的修复实现靶材的重复充分利用,提高利用率。本发明可方便地制备复合材料薄膜,并且降低薄膜制备的成本,提升靶材的利用率。