简介： 本发明公开了一种等离子体处理设备及用于其上的高导电导磁复合材料，该高导电导磁复合材料用于制造等离子体处理设备的反应腔外壁，包括高磁导率基材和设置在所述高磁导率基材表面的高电导率层；所述高磁导率基材的材质为坡莫合金。其内芯层磁导率高，外表层电导率高，可以同时满足刻蚀机对磁场和电场屏蔽的需求，通过蒸镀，气相沉积，热喷涂，冷喷涂等方式加工简单，可以实现批量生产。