简介： 本发明涉及一种蒸发固体原料制备碳化硅纳米粒子及其复合材料的方法，属于纳米材料制备技术与应用领域。其特征是使用自动控制直流电弧等离子体设备，将固体原料即微米级硅粉和碳粉，按一定比例均匀混合并压制成块，将此作为阳极，石墨棒作为阴极，在一定比例的惰性气体、氢气的混合气氛中蒸发原料，获得单相碳化硅纳米粒子或多相复合材料。本发明的优点在于制备工艺简单，成本低廉、可规模化制备，可以实现产物中相组成及颗粒尺寸和形貌的控制。