简介： 一种陶瓷基复合材料的飞秒‑纳秒超脉冲激光平整加工系统，包括计算机控制系统，计算机控制系统分别与超脉冲光路系统、监控系统以及激光加工系统连接，计算机控制系统先控制超脉冲光路系统出光和参数调整，然后通过监控系统反馈光路状态，确认超脉冲光路系统正常后，最后通过激光加工系统进行样品制备；计算机控制系统包括计算机，计算机通过数字延时发生器分别连接飞秒激光器和纳秒激光器；超脉冲光路系统包括飞秒激光双脉冲序列光路、纳秒激光单脉冲序列光路以及飞秒‑纳秒激光合束光路；本发明利用飞秒激光双脉冲序列和纳秒激光单脉冲序列组合成具有脉冲时序调控及参数匹配耦合的超脉冲激光，实现陶瓷基复合材料的高效高质表面平整加工。