简介： 一种超声辅助激光抛光陶瓷基复合材料的方法，先将SiC陶瓷基复合材料的加工样片表面研磨抛光，超声清洗；再将加工样片固定在超声辅助激光抛光加工装置上，移动平台使激光聚焦到起始加工位置；设置激光参数、振镜扫描参数、超声振动参数和XYZ高精密移动平台的运动参数，打开飞秒激光器和超声发生器，用调好的参数进行加工样片的超声辅助激光抛光加工；抛光完成后，对加工样片再次进行超声清洗；本发明将激光与超声两种加工方法相结合，充分利用了超声波的声流、空化等效应，解决了激光抛光过程中因等离子效应和颗粒粘附效应产生的重铸层、表面裂纹等缺陷的问题，优化了激光加工的进程，提高了材料去除率和抛光表面质量。