简介： 本发明是一种制备超细碳氨硅复合材料的气相合成新工艺，工艺中采取直流等离子弧为热源的密闭反应器中完成，所采用的原料为三氣甲基硅烷和液氨，两者按1.4-1.8：1的比例（液态重量比）注入反应器，并借助自由沉降过程中淬冷直接复合成固态微粉，反应借助调 控等离子体发生器输出功率和N2、H2比例稳定，保持反应温度在llOOt-isoot之间，经洋冷细化的微粉经加热后处理去除氣化物杂质生成超细Si-N-C纳米级复 合材料。