全尺寸SiC复合材料包壳管化学气相沉积的装置
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全尺寸SiC复合材料包壳管化学气相沉积的装置
来源:北方有色网
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简介: 本发明属于核包壳材料制造技术领域,具体涉及一种全尺寸SiC复合材料包壳管化学气相沉积的装置。旋转电机放置于炉盖上方,下方与吊挂架相连,保温上盖、外保温层和石墨底座共同组成保温室,石墨底座放置于炉底上方,加热体位于外保温层和内桶之间,内桶放置于加热体和全尺寸碳化硅包壳管之间,吊挂架穿过吸气管下端与全尺寸碳化硅包壳管连接,导气管位于内桶上方,进端通过保温上盖通入沉积室,出端与外部真空管道相连,吸气管进端位于全尺寸碳化硅包壳管上方,出端与外部真空管道相连,测温热偶放置于每段加热体内和内桶之间,每个测温热偶均与测温控温表相连,进气管位于沉积装置的下方和侧方。本发明填补了全尺寸SiC复合材料包壳管制备技术空白。
本发明属于核包壳材料制造技术领域,具体涉及一种全尺寸SiC复合材料包壳管化学气相沉积的装置。旋转电机放置于炉盖上方,下方与吊挂架相连,保温上盖、外保温层和石墨底座共同组成保温室,石墨底座放置于炉底上方,加热体位于外保温层和内桶之间,内桶放置于加热体和全尺寸碳化硅包壳管之间,吊挂架穿过吸气管下端与全尺寸碳化硅包壳管连接,导气管位于内桶上方,进端通过保温上盖通入沉积室,出端与外部真空管道相连,吸气管进端位于全尺寸碳化硅包壳管上方,出端与外部真空管道相连,测温热偶放置于每段加热体内和内桶之间,每个测温热偶均与测温控温表相连,进气管位于沉积装置的下方和侧方。本发明填补了全尺寸SiC复合材料包壳管制备技术空白。
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标签:复合材料
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