简介： 一种用于陶瓷基复合材料的超快激光抛光加工方法，先将SiC陶瓷基复合材料加工样片固定在激光加工设备上，激光加工设备包括光路系统和加工平台，光路系统包括飞秒激光器，飞秒激光器的激光经过反射镜、扩束镜、光阑、振镜及场镜组件后作用于加工平台上；加工平台包括相对于工作台在x、y和z轴方向的三维运动机构以及夹具，在三维运动机构中安装角位移台，通过调节角位移台能够改变y轴方向与工作台法线夹角大小，以获得大的激光入射角；通过计算机分别控制飞秒激光器的激光参数、振镜的振镜图形扫描及三维运动机构的移动对加工样片进行抛光；本发明利用激光与加工平台协同作业，根据需要调节横向纵向的光斑重叠率，保证加工的均匀性，加工效率高。