简介： 本发明公开一种快速制备高性能碳陶复合材料的等离子沉积方法及设备，将碳陶纤维预制体放入真空室中，碳陶纤维预制体与高压电源连接，碳陶纤维预制体外设感应线圈，通入真空室中的气体介质在真空高压下形成高温等离子体，其中带负电的分子基团在电场力作用下高速撞击碳陶纤维预制体进行沉积。该方法以等离子气源为介质，通过化学气相沉积来制备高性能碳陶复合材料，加工效率高、致密度高。等离子沉积设备结构简单，可对预制体快速致密化，设备能耗低，加工效率高。