简介:
本发明提供一种水反应性Al复合材料,其在4NAl或5NAl中,以Al基准计算,添加2~5wt%的In及以与杂质Si量的总和计成为0.04~0.6wt%的量的Si而成。使用该材料制造的Al喷镀膜及该Al膜的制造。在表面具备有该Al喷镀膜的成膜室用构成部件。
本发明提供一种水反应性Al
复合材料,其在4NAl或5NAl中,以Al基准计算,添加2~5wt%的In及以与杂质Si量的总和计成为0.04~0.6wt%的量的Si而成。使用该材料制造的Al喷镀膜及该Al膜的制造。在表面具备有该Al喷镀膜的成膜室用构成部件。