直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法及应用
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直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法及应用
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简介: 本发明公开了一种直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法,属于光伏技术领域,工艺具体步骤包括预制品、CVI、预热、浸渍、碳化、高温气相渗硅、氮化、高温、碳化硅涂层、氢氧化钡涂层、碳酸钡涂层,本发明还公开了一种直拉硅单晶用复合材料坩埚的应用,该工艺制造得到的产品寿命长,在生产单晶硅时不会造成碳元素污染,其涂层质量更好,原料便宜,降低了成本。
本发明公开了一种直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法,属于光伏技术领域,工艺具体步骤包括预制品、CVI、预热、浸渍、碳化、高温气相渗硅、氮化、高温、碳化硅涂层、氢氧化钡涂层、碳酸钡涂层,本发明还公开了一种直拉硅单晶用复合材料坩埚的应用,该工艺制造得到的产品寿命长,在生产单晶硅时不会造成碳元素污染,其涂层质量更好,原料便宜,降低了成本。
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标签:复合材料
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