简介： 本发明提供一种超稳定的银钽复合材料表面增强拉曼散射基底及其制备方法，采用磁控溅射沉积银、钽复合薄膜，将清洗干净的单晶硅片抽真空并沉积铬膜；控制电流强度，分别精确调控银、钽元素沉积速率，维持腔室反应压力，持续溅射沉积银、钽元素形成双金属复合材料，有效提高银的耐腐蚀性及稳定性，以实现超稳定的表面增强拉曼散射检测。本发明提供的银钽复合材料基底通过在真空条件下进行磁控溅射制备，其表面无污染、清洁度高，有效提高了表面增强拉曼散射检测的灵敏度和准确度。本发明制备过程简单，比表面积大，成本低，便于工业化生产，能广泛应用于表面增强拉曼散射传感、金属催化、纳米探针、光电器件、太阳能电池，吸附材料等领域。