用于批量合成复合材料的激光沉积系统
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用于批量合成复合材料的激光沉积系统
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统,包括一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统,包括激光源、步进电机组件、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片;所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内,所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对,所述真空室设置有通光部,所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角;所述步进电机组件与所述第二反射镜连接,以驱动所述第二反射镜旋转至预设角度,所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜。
本发明提供一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统,包括一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统,包括激光源、步进电机组件、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片;所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内,所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对,所述真空室设置有通光部,所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角;所述步进电机组件与所述第二反射镜连接,以驱动所述第二反射镜旋转至预设角度,所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜。
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标签:复合材料
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