碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长炉
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碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长炉
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简介: 本发明提供了一种碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长炉,其中坩埚包括坩埚体;坩埚体具有用于置物的腔体,坩埚体的侧壁包括表层和里层,表层包裹于所述里层的外部,表层和所述里层的材质均为碳/碳复合材料;坩埚体的侧壁厚度沿坩埚体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐增大;里层的密度小于表层的密度,且里层的厚度沿坩埚体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐增大,而表层的厚度保持不变。该碳/碳复合材料坩埚自身具有轴向温度梯度设计,无需通过加热装置的结构设计来产生轴向温度梯度,可简化加热装置的结构,且可以兼容感应加热长晶炉和电阻加热长晶炉。
本发明提供了一种碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长炉,其中坩埚包括坩埚体;坩埚体具有用于置物的腔体,坩埚体的侧壁包括表层和里层,表层包裹于所述里层的外部,表层和所述里层的材质均为碳/碳复合材料;坩埚体的侧壁厚度沿坩埚体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐增大;里层的密度小于表层的密度,且里层的厚度沿坩埚体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐增大,而表层的厚度保持不变。该碳/碳复合材料坩埚自身具有轴向温度梯度设计,无需通过加热装置的结构设计来产生轴向温度梯度,可简化加热装置的结构,且可以兼容感应加热长晶炉和电阻加热长晶炉。
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标签:复合材料
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