简介： 本发明公开了一种用于蒸镀掩膜板的金属基复合材料、蒸镀掩膜板及其制备方法。该金属基复合材料包括基体和弥散于所述基体中的增强相，其中，所述基体为铁镍合金，所述增强相为非金属颗粒，所述非金属颗粒在基体中的体积比为20-50vol%。本发明提出的用于蒸镀掩膜板的金属基复合材料，密度降低，弹性模量升高，避免掩膜板因重力而悬垂，并且本发明提出的蒸镀掩膜板的制备方法，能够提高掩膜板的整体性能，并且节约原料，降低成本。