简介： 本发明涉及一种基于纳米氧化锌复合材料的柔性超声传感器，属于超声传感器和微纳加工领域。本发明公开的柔性超声传感器主要由柔性基底、纳米氧化锌复合材料、声匹配层和电极组成。纳米氧化锌复合材料作为压电层，由纳米氧化锌结构和柔性胶体组成，纳米氧化锌结构通过水热生长法制备，柔性胶体填充于纳米氧化锌结构之中，这种复合结构具有良好的鲁棒性，有利于实现双面电极的紧密接触。基于柔性基底和纳米氧化锌复合材料的结构，可以提高超声传感器的灵敏度、柔韧性和弯曲强度，因此可对任意曲面形状的目标进行共形超声探测。本发明还公开所述超声传感器的制备方法，其制备工艺简单，适合大规模生产。