铝基柔性电磁屏蔽复合材料的制备工艺
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铝基柔性电磁屏蔽复合材料的制备工艺
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种铝基柔性电磁屏蔽复合材料的制备工艺,该种工艺直接将铝箔卷辊装入真空溅射镀膜室进行离子轰击溅射去除基体表面的氧化膜,再在基体上溅射沉积Fe78Si9B13或Fe73.5Nb3Cu1Si13.5B9合金形成纳米晶膜,最后在纳米晶合金膜上溅射沉积铜膜或铝膜。本发明制备的复合材料可以达到宽频高效电磁屏蔽效果,采用溅射离子镀膜和溅射镀膜,膜层与基体、膜层与膜层之间结合强度高,且工艺简单,质量稳定,整个工艺没有涉及化学溶液和有害气体,杜绝了废水、废气污染,为绿色环保生产。
本发明涉及一种基柔性电磁屏蔽复合材料的制备工艺,该种工艺直接将铝箔卷辊装入真空溅射镀膜室进行离子轰击溅射去除基体表面的氧化膜,再在基体上溅射沉积Fe78Si9B13或Fe73.5Nb3Cu1Si13.5B9合金形成纳米晶膜,最后在纳米晶合金膜上溅射沉积膜或铝膜。本发明制备的复合材料可以达到宽频高效电磁屏蔽效果,采用溅射离子镀膜和溅射镀膜,膜层与基体、膜层与膜层之间结合强度高,且工艺简单,质量稳定,整个工艺没有涉及化学溶液和有害气体,杜绝了废水、废气污染,为绿色环保生产。
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