碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长设备
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碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长设备
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简介: 本发明提供了一种碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长设备,其中碳/碳复合材料坩埚包含坩埚体;坩埚体包括本体及夹层,本体具有用于置物的腔体,夹层设于本体的侧壁内,本体与夹层的材质均为碳/碳复合材料;夹层的密度小于本体的侧壁的密度,夹层的厚度沿本体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐增大;或者,夹层的密度大于本体的侧壁的密度,夹层的厚度沿本体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐减小。该碳/碳复合材料坩埚自身具有轴向温度梯度设计,无需通过加热装置的结构设计来产生轴向温度梯度,可以简化加热装置的结构,并且可以兼容感应加热长晶炉和电阻加热长晶炉。
本发明提供了一种碳/碳复合材料坩埚及其制备方法、晶体生长设备,其中碳/碳复合材料坩埚包含坩埚体;坩埚体包括本体及夹层,本体具有用于置物的腔体,夹层设于本体的侧壁内,本体与夹层的材质均为碳/碳复合材料;夹层的密度小于本体的侧壁的密度,夹层的厚度沿本体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐增大;或者,夹层的密度大于本体的侧壁的密度,夹层的厚度沿本体的轴向自腔体的底部至腔体的敞口处的方向上逐渐减小。该碳/碳复合材料坩埚自身具有轴向温度梯度设计,无需通过加热装置的结构设计来产生轴向温度梯度,可以简化加热装置的结构,并且可以兼容感应加热长晶炉和电阻加热长晶炉。
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标签:复合材料
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