简介： 光敏特性的二氧化锗基有机-无机复合材料的制备方法,以二氧化锗作为无机基质和有机改性硅酸盐(含光敏基团)为有机基质的低温有机-无机复合光敏材料,通过基于其有机光敏功能基团以实现具有光敏特性同时集光波导特性于一身的有机-无机复合光电子材料。采用改进溶胶-凝胶技术结合低温有机-无机合成技术制备具有合成温度低、工艺要求简单、而且重复性好等优点。本发明同时通过该类低温复合材料的紫外光敏特性结合掩模技术或其它激光技术可进行低成本的光波导器件或其它微光器件的制作。特别是基于在低温下具有数微米厚、折射率可调和紫外光敏特性的单层光学质量波导薄膜,所以非常利于实现微纳光电子器件的集成化和批量制作。