压电复合材料制备方法
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压电复合材料制备方法
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简介: 本发明公开了一种压电复合材料制备方法,其包括一下步骤:步骤一、用精密切割机在压电材料上切割出刻蚀导槽;步骤二、将切割后的压电材料放入刻蚀腔或者刻蚀液内进行刻蚀,控制刻蚀的速度和时间,当刻蚀的深度和宽度达到压电复合材料的设计要求后,停止刻蚀,制得压电晶柱;步骤三、清洗、烘干经过刻蚀的压电材料;步骤四、在压电材料的刻蚀导槽内进行非压电相的填充和固化成形,得到压电复合材料半成品;步骤五、减薄抛光后得到压电复合材料。其优点在于:方法简单,操作方便,不但克服切割‑填充法对高频压电复合材料制备的限制,又而且减弱等离子反应刻蚀工艺造成的压电材料各向异性倾角。
本发明公开了一种压电复合材料制备方法,其包括一下步骤:步骤一、用精密切割机在压电材料上切割出刻蚀导槽;步骤二、将切割后的压电材料放入刻蚀腔或者刻蚀液内进行刻蚀,控制刻蚀的速度和时间,当刻蚀的深度和宽度达到压电复合材料的设计要求后,停止刻蚀,制得压电晶柱;步骤三、清洗、烘干经过刻蚀的压电材料;步骤四、在压电材料的刻蚀导槽内进行非压电相的填充和固化成形,得到压电复合材料半成品;步骤五、减薄抛光后得到压电复合材料。其优点在于:方法简单,操作方便,不但克服切割‑填充法对高频压电复合材料制备的限制,又而且减弱等离子反应刻蚀工艺造成的压电材料各向异性倾角。
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标签:复合材料
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