简介： 本发明为一种二氧化硅‑金刚石复合材料及其制备方法，该复合材料为多层膜形成的体材料，每层膜是由SiO₂和金刚石组成的混合相结构，制备时，先采用微波等离子体化学气相沉积法，在基体表面进行金刚石和SiC的共沉积，形成SiC‑金刚石混合相膜，然后再对SiC‑金刚石混合相膜进行氧化处理，使SiC转变为SiO₂，制备形成SiO₂‑金刚石混合相膜。重复SiC‑金刚石混合相膜的制备及SiC转变为SiO₂的过程，使SiO₂‑金刚石混合相膜不断增厚，最后在达到所需厚度后，去除基体，即获得SiO₂‑金刚石复合材料。本发明的SiO₂‑金刚石复合材料兼具氧化硅的透过性和金刚石良好的散热性，可用于需要良好透过性和散热性能的场合。