单晶硅拉制炉的CF/Si3N4复合材料埚帮及其制备方法
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单晶硅拉制炉的CF/Si3N4复合材料埚帮及其制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种单晶硅拉制炉的CF/Si3N4复合材料埚帮及其制备方法。关键是复合材料埚帮的组分组成是(按重量百分比计算):炭纤维布60~70%;陶瓷浸渍液25~40%;热解炭10~15%;经高温烧制得所述的CF/Si3N4复合材料埚帮。本发明具有较高的炭纤维含量和较低的热解炭含量,同时含有一定量的氮化硅、碳化硅等陶瓷成分,进一步提高了强度和抗硅腐蚀的性能。
本发明公开了一种单晶硅拉制炉的CF/Si3N4复合材料埚帮及其制备方法。关键是复合材料埚帮的组分组成是(按重量百分比计算):炭纤维布60~70%;陶瓷浸渍液25~40%;热解炭10~15%;经高温烧制得所述的CF/Si3N4复合材料埚帮。本发明具有较高的炭纤维含量和较低的热解炭含量,同时含有一定量的氮化硅、碳化硅等陶瓷成分,进一步提高了强度和抗硅腐蚀的性能。
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标签:复合材料
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