简介： 一种CZ硅晶体生长炉碳-碳复合材料导流筒及其制备方法,其CZ硅晶体生长炉碳-碳复合材料导流筒简体由表面涂层、碳-碳复合材料表层和碳-碳复合材料中心层构成。其制备方法包括以下步骤:(1)设计和制造导流筒胎具;(2)设计炭毡的形状和尺寸;并据此尺寸裁剪下料;(3)坯体制备;(4)坯体固化;(5)CVD增密处理;(6)导流筒脱模,对其表面进行抛光打磨;(7)二次CVD增密处理;(8)对导流筒的端部进行机加工,精整其余表面;(9)对精整后的导流筒进行表面抗氧化抗冲蚀涂层处理;(10)烘干、高温纯化处理。本发明导流筒产品的整体性好,使用可靠性高,使用寿命长,更换操作方便;可提高成晶率,降低拉晶能耗10%左右。