简介： 最近的半导体设备存在更加大功率化的趋势,对于所用的半导体装置用散热基板的材料,谋求具有小的热膨胀系数和更高的热传导率的材料。本发明提供一种复合材料,该复合材料是由第一材料形成的层(10)和由第二材料形成的层(16)交替层叠而成的,所述第二材料的热膨胀系数比所述第一材料的热膨胀系数小,所述第二材料的热传导率比所述第一材料的热传导率低,由所述第一材料形成的层和由所述第二材料形成的层合计层叠有五层以上。