简介:
一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。本发明中的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括通气管、密封阀门、密封顶盖、加料室、加料阀门、加料管。真空连续加料系统安装于多晶硅熔炼炉上方,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。
一种用于
多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。本发明中的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括通气管、密封阀门、密封顶盖、加料室、加料阀门、加料管。真空连续加料系统安装于多晶硅熔炼炉上方,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。