石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
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石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
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简介: 本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体环境中,将硅料熔化形成硅熔体;之后降温、拉锭,待凝固完成85~90%时,将石英管伸入剩余的硅熔体中,停止抽真空,通入惰性气体,剩余硅熔体在压力差作用下进入石英管中,继续向下拉锭,坩埚上端离开加热区后,将尾料收集箱伸入到尖嘴石英管正下方;切断电源,停止加热,石英管中的硅熔体膨胀,石英管胀裂后下落至尾料收集箱,坩埚中的为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,该发明设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化生产。
本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体环境中,将硅料熔化形成硅熔体;之后降温、拉锭,待凝固完成85~90%时,将石英管伸入剩余的硅熔体中,停止抽真空,通入惰性气体,剩余硅熔体在压力差作用下进入石英管中,继续向下拉锭,坩埚上端离开加热区后,将尾料收集箱伸入到尖嘴石英管正下方;切断电源,停止加热,石英管中的硅熔体膨胀,石英管胀裂后下落至尾料收集箱,坩埚中的为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,该发明设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化生产。
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标签:火法冶金
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