简介： 本实用新型涉及一种靶材，具体涉及一种镶嵌式溅射靶材，包括基板，基板与冷却背板相连，圆柱状嵌体嵌入到基板和冷却背板的内部，圆柱状嵌体设置在基板上表面横向中心线的一侧，基板和冷却背板上设置有台阶孔。本实用新型结构简单，易于加工，节约材料，成本低，并可达到熔炼或粉末冶金靶材相同的溅射效果。