简介： 本发明涉及真空冶金技术领域，具体涉及一种重量纯度超过99.99%的高纯金属铸锭的制造方法。一种高纯金属铸锭的制造方法，其特征在于其具体工艺过程为：（1）将重量纯度≥99.99%的金属原料进行备料、装炉、抽真空；（2）电子束对金属原料进行加热融化，得到金属熔体；（3）经步骤（2）融化后得到的金属熔体进入采用电磁感应加热方式的水冷坩埚中继续进行熔炼，实现除杂、除气；（4）经步骤（3）得到的熔体进入水冷结晶器，成型得到高纯金属铸锭。本发明方法能够充分控制铸锭中杂质及气体含量，所制备的高纯金属铸锭，具有纯度高，铸锭物理性好、成材率高、产品规格多样化等优点，满足集成电路等对于高端薄膜制备的性能要求。