简介： 本发明公开了一种无源真空维持合金的制备方法及其应用，材料合金配方如下：合金配方的主体元素为52wt％‑63wt％，Y为5wt％‑30wt％，Mo为18‑22wt％，W为0.1wt％‑5wt％，Re为0.1wt％‑4wt％，所述Hf为0‑1.8wt％，所述Nb为0‑1.8wt％，所述Ni为0.1wt％‑1.8wt％。将纯度为99.5～99.95％的原材料，按上述合金配方进行配料，其原材料分别为Ti、Zr、Y、Mo、W、Re、Hf、Nb、Ni，对配料进行熔炼制得无源真空维持合金的合金靶坯；或者用粉末冶金烧结法制得合金靶坯，将合金靶坯进行机械加工，制得所述2英寸～12英寸的合金靶材。本发明用制备的合金，其比表面高和孔隙度大，源于合金中加入了具有d电子轨道的W、使得合金的吸气平衡压降低，有利于合金的吸气性能，能够有效的维持无源。