用于感测元件的氧化铝扩散阻挡体
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用于感测元件的氧化铝扩散阻挡体
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及用于感测元件的氧化铝扩散阻挡体。本发明还涉及用于温度感测器的感测元件,包括具有施加于其的铂弯曲体的基底。氧化铝扩散阻挡体(ADB)覆盖弯曲体以提供抵抗污染的保护和结构稳定性,其中氧化铝扩散阻挡体是连续的多晶层,其由氧化铝和以重量计约1%的金红石添加剂制成以基本上避免网状孔隙。连续的多晶层包括具有典型在0.5‑3μm范围内的晶粒尺寸的晶粒。制造氧化铝扩散阻挡体的方法包括以下步骤:将纳米氧化铝和纳米金红石粉末组合以产生配制物;将配制物施加于铂弯曲体以形成层;将该层烧结以产生覆盖铂弯曲体的连续的多晶层。
本发明涉及用于感测元件的氧化扩散阻挡体。本发明还涉及用于温度感测器的感测元件,包括具有施加于其的铂弯曲体的基底。氧化铝扩散阻挡体(ADB)覆盖弯曲体以提供抵抗污染的保护和结构稳定性,其中氧化铝扩散阻挡体是连续的多晶层,其由氧化铝和以重量计约1%的金红石添加剂制成以基本上避免网状孔隙。连续的多晶层包括具有典型在0.5‑3μm范围内的晶粒尺寸的晶粒。制造氧化铝扩散阻挡体的方法包括以下步骤:将纳米氧化铝和纳米金红石粉末组合以产生配制物;将配制物施加于铂弯曲体以形成层;将该层烧结以产生覆盖铂弯曲体的连续的多晶层。
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